Image of Pengaruh waktu sputtering terhadap kekerasan lapisan tipis wolfram nitrida pada permukaan stainless steel 316L

Tugas Akhir

Pengaruh waktu sputtering terhadap kekerasan lapisan tipis wolfram nitrida pada permukaan stainless steel 316L

Stainless steel 316L merupakan baja paduan yang mempunyai sifat tidak mudah terkorosi sehingga banyak digunakan untuk aplikasi biomaterial. Selain memiliki sifat tahan terhadap korosi, stainless steel 316L juga murah apabila dibandingkan dengan logam medis lain. Akan tetapi stainless steel 316L mempunyai kekerasan dan ketahanan aus yang relatif rendah. Pada penelitian ini telah dilakukan perningkatan kekerasan permukaan material stainless steel 316L dengan melapisi wolfram nitride (WN) menggunakan metode plasma sputtering. Proses sputtering dilakukan dengan memvariasikan lamanya proses sputtering yaitu 30 menit, 60 menit, 90 menit, dan 120 menit. Sedangkan parameter lainnya seperti tekanan, tegangan elektroda, arus, dan perbandingan gas argon (Ar) dengan nitrogen (N2) dibuat tetap masing-masing 2,2 x 10-2 Torr, 4 kV, 10 mA, dan 70:30. Dari hasil uji kekerasan vickers didapatkan bahwa semakin lama proses sputtering maka kekerasannya semakin meningkat. Nilai kekerasan pada sampel yang tidak di sputtering dan sampel yang di sputtering dengan variasi waktu masing-masing adalah 159,74 VHN, 233,64 VHN, 263,2 VHN, 370,2 VHN, dan 432,03 VHN. Nilai kekerasan pada 120 menit yaitu 432.03 VHN atau terjadi peningkatan sebesar 2,7 kali. Hasil X-Ray Diffraction menunjukkan terbentuknya fasa WN yang ditunjukkan pada puncak-puncak 2-theta yaitu pada sudut 35,85⁰ , 73,58⁰ , 75,99⁰ , dan 77,33⁰. rnKata kunci: Plasma sputtering, stainless steel 316L, kekerasan, X-Ray Diffraction

Ketersediaan
S20-028316/TA/M/20 539.53 AMA pPerpustakaan Poltek NuklirTersedia
Informasi Detail
Judul Seri
-
No. Panggil
539.53 AMA p
Penerbit
Yogyakarta : STTN-BATAN.,
Deskripsi Fisik
xiv, 80 halaman : ilustrasi ; 30 cm
Bahasa
Indonesia
ISBN/ISSN
-
Klasifikasi
539.53
Tipe Isi
teks
Tipe Media
tanpa perantara
Tipe Pembawa
volume
Edisi
-
Subjek
uji Kekerasan
Info Detail Spesifik
-
Pernyataan Tanggungjawab
Versi lain/terkait

Tidak tersedia versi lain

Lampiran Berkas
Komentar
Anda harus login sebelum memberikan komentar